1400℃ Vakuumatmosphären-Röhrenofen CVD-System

BESCHREIBUNG

Bietet eine experimentelle Umgebung mit Vakuum, kontrollierter Atmosphäre und hoher Temperatur.

Dieses CVD-Wachstumssystem eignet sich für CVD-Prozesse wie Siliziumkarbidbeschichtung, Leitfähigkeitstests von Keramiksubstraten, kontrolliertes Wachstum von ZnO-Nanostrukturen und Sinterexperimente in MLCC-Atmosphäre.

EIGENSCHAFTEN

1. Der Ofen besteht aus polykristalliner Mullitfaser-Vakuumadsorption, das Temperaturfeld ist gleichmäßig und die Energieeinsparung beträgt mehr als 50%

2. Die Luftumleitungs- und Wärmeisolierungstechnologie gewährleistet die Lebensdauer und konstante Temperaturwirkung jeder Komponente in der Box

3. Starten Sie den Elektroofen und der Abluftventilator läuft automatisch gleichzeitig. Nach dem Test läuft der Abluftventilator weiter, bis die Temperatur des Ofenkörpers unter 60 °C liegt, und der Abluftventilator stoppt automatisch, wodurch die Oberfläche des Ofenkörpers effektiv geschützt wird.

4. Automatische Abschaltung, Übertemperaturschutzfunktion, Auslaufschutzfunktion zur Gewährleistung der Anwendungssicherheit

5. Die Schaltung verwendet einen kontinuierlichen Heizleistungsmodus, eine Zweikreis-Stromversorgung und eine separate Verkabelung mit starkem und schwachem Strom verbessert die Stabilität des Systems

6. Das Heizmodul nimmt ein DC-Signal an, um die Ausgangsleistung einzustellen, wodurch die Interferenz von induzierter Elektrizität mit dem Steuersignal vermieden wird.

7. Automatische Kompensation des durch Temperatur oder Alterung verursachten Temperatursteuereffekts auf die Widerstandswertänderung des Siliziumkarbidstabs, wodurch die Ungenauigkeit und Gefahr einer künstlichen Einstellung vermieden wird

8. Nehmen Sie ein digitales Durchflussanzeigeinstrument an, arbeiten Sie mit dem Massendurchflussregler zusammen, sammeln Sie Daten und steuern Sie den Durchfluss. Es zeichnet sich durch gute Wiederholbarkeit, schnelle Reaktionsgeschwindigkeit, Stabilität und Zuverlässigkeit aus. (Gasmassenstromregelsystem)

9. Automatische Steuerung und Umschaltfunktion der manuellen Steuerung, der automatische Steuerungsmodus kann die Vakuumpumpe automatisch über den eingestellten Wert ein- und ausschalten, um den Behälter innerhalb eines bestimmten Vakuumdruckbereichs zu halten. Im manuellen Steuerungsmodus kann der Benutzer die Vakuumpumpe direkt über die Ein-/Aus-Taste der Vakuumpumpe bedienen. um die Anforderungen verschiedener Experimente zu erfüllen. (Mittelvakuum-Steuerungssystem)

10 Magnetventil-Slow-Start-Technologie, sodass das Magnetventil 10 Sekunden nach dem Einschalten der Vakuumpumpe geöffnet wird, sodass der Systemdruck im Ofenrohr genau gehalten wird und auch sichergestellt wird, dass das Abgas nicht in den zurückkehrt Ofenrohrsystem zur Beeinflussung des experimentellen Effekts (Feinvakuumregelsystem)

SPEZIFIKATIONEN