Röhrenofen mit Vakuumatmosphäre Hersteller und Lieferant in China
1600 °C Vakuumatmosphären-Rohrofen-CVD-System
1600 °C Vakuumatmosphären-Rohrofen-CVD-System

1600 °C Vakuumatmosphären-Rohrofen-CVD-System

Das 1600°C Vakuum/Atmosphären-Röhrenofen-CVD-System (CVD-TF) bietet eine experimentelle Umgebung mit Vakuum, kontrollierbarer Atmosphäre und hoher Temperatur und wird in der Halbleiter-, Nanotechnologie-, Faser- und anderen Bereichen eingesetzt. Dieses CVD-Wachstumssystem eignet sich für CVD-Prozesse, wie z. B. Siliziumkarbidbeschichtung, Leitfähigkeitstest für Keramiksubstrate, kontrollierbares Wachstum der ZnO-Nanostruktur, Atmosphärensintern von Keramikkondensatoren (MLCC) und andere Experimente.
  • ModellCVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series
  • MarkeLABOAO
  • HafenJeder Hafen in China
  • PaketSperrholzkoffer Paket
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BESCHREIBUNG

Das 1600°C Vakuum/Atmosphären-Röhrenofen-CVD-System (CVD-TF) bietet eine experimentelle Umgebung mit Vakuum, kontrollierbarer Atmosphäre und hoher Temperatur und wird in der Halbleiter-, Nanotechnologie-, Faser- und anderen Bereichen eingesetzt. Dieses CVD-Wachstumssystem eignet sich für CVD-Prozesse, wie z. B. Siliziumkarbidbeschichtung, Leitfähigkeitstest für Keramiksubstrate, kontrollierbares Wachstum der ZnO-Nanostruktur, Atmosphärensintern von Keramikkondensatoren (MLCC) und andere Experimente.

EIGENSCHAFTEN

1. Der Ofen besteht aus polykristalliner Mullitfaser-Vakuumadsorption, das Temperaturfeld ist gleichmäßig und die Energieeinsparung beträgt mehr als 50%

2.Die selbst entwickelte Luftumleitungs- und Wärmeisolierungstechnologie gewährleistet die Lebensdauer und konstante Temperaturwirkung jeder Komponente in der Box

3. Wenn der Elektroofen gestartet wird, läuft der Abluftventilator automatisch gleichzeitig. Nach dem Test läuft der Abluftventilator weiter, bis die Temperatur des Ofenkörpers unter 60 °C liegt, und der Abluftventilator stoppt automatisch, wodurch die Oberfläche des Ofenkörpers effektiv geschützt wird.

4. Die Ofentür wird mit automatischer Abschaltung, Übertemperaturschutzfunktion und Auslaufschutzfunktion geöffnet, um die Sicherheit der Verwendung zu gewährleisten.

5.Die Schaltung verwendet einen kontinuierlichen Heizleistungsmodus, eine Zweikreis-Stromversorgung und eine separate Verkabelung mit starkem und schwachem Strom verbessert die Stabilität des Systems

6. Das Heizmodul nimmt ein DC-Signal an, um die Ausgangsleistung einzustellen, wodurch die Interferenz von induzierter Elektrizität mit dem Steuersignal vermieden wird.

7. Niederspannungs-Metallknöpfe werden für Bedienknöpfe verwendet, mit Statusanzeigeleuchten, sicherer und intuitiver Bedienung.

8. Die oberen und unteren Ofenkörper sind durch Luftfahrtstecker verbunden, die sicher, zuverlässig und bequem zu verbinden sind.

9. Die Gaskreislaufbaugruppe besteht aus Edelstahl 316 in Lebensmittelqualität, der korrosionsbeständig, atmosphärisch korrosionsbeständig und hochtemperaturbeständig ist und nicht magnetisch ist.

10. Nehmen Sie ein digitales Durchflussanzeigeinstrument an, arbeiten Sie mit dem Massendurchflussregler zusammen, sammeln Sie Daten und steuern Sie den Durchfluss. Es zeichnet sich durch gute Wiederholbarkeit, schnelle Reaktionsgeschwindigkeit, Stabilität und Zuverlässigkeit aus. (Gasmassenstromregelsystem)

11.Automatische Steuerung und Schaltfunktion der manuellen Steuerung, der automatische Steuerungsmodus kann die Vakuumpumpe automatisch über den eingestellten Wert öffnen / schließen, sodass der Behälter in einem bestimmten Vakuumdruckbereich gehalten werden kann. Im manuellen Steuerungsmodus kann der Benutzer die Vakuumpumpe direkt über die Ein-/Aus-Taste der Vakuumpumpe bedienen. um die Anforderungen verschiedener Experimente zu erfüllen. (Mittelvakuum-Steuerungssystem)

12. Die Magnetventil-Slow-Start-Technologie öffnet das Magnetventil 10 Sekunden nach dem Einschalten der Vakuumpumpe, sodass der Systemdruck im Ofenrohr genau gehalten wird und auch sichergestellt wird, dass das Abgas nicht in den Ofen zurückkehrt Röhrensystem zur Beeinflussung des experimentellen Effekts (Feinvakuum-Kontrollsystem)

13. Überhitzungsalarm, Menüsperre, Überhitzungsschutz, Verzögerung der Stromwiederherstellung.

14. Unter Verwendung der Einwegventiltechnologie wird der Gasfluss innerhalb eines kontrollierbaren Druckbereichs gesteuert, um die Sicherheit zu gewährleisten.

15.Die Gasmischtankvorrichtung wird verwendet, damit das Gas in den Arbeitsraum eingeführt werden kann, nachdem es vollständig gemischt wurde, um sicherzustellen, dass es nicht ausläuft.

SPEZIFIKATIONEN

Modell

CVD-LTF16P50

CVD-LTF16P60

CVD-LTF16P80

CVD-LTF16P100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16P80S

CVD-LTF16P100S

CVD-LTF16T50

CVD-LTF16T60

CVD-LTF16T80

CVD-LTF16T100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16T80S

CVD-LTF16T100S

Betriebstemperaturbereich

300~1600

Temperaturauflösung

1

Temperaturkontrolle

± 1

Erwärmungsrate

0~20/min

Länge der Heizzone

260mm

600mm

Länge der Zone konstanter Temperatur

120mm

300mm

Grad Vakuum

-0.1MPa

Aufheizzeit des leeren Ofens

<15min

Außen

Kaltgewalztes Stahlblech mit   chemikalienbeständiger Beschichtung auf der Oberfläche

Ofenkörper

Polykristalline Mullitfaser

Ofengröße

440*390*330

780*390*330

Ofenrohr

Korundrohr

Ofenrohrgröße

φ50*1000

φ60*1000

φ80*1000

φ100*1000

φ60*1200

φ80*1200

φ100*1200

Heizung

Silizium-Molybdän-Stab

Heizleistung

4KW

4KW

10KW

10KW

Wärmedämmschicht

Zweischichtige Zwangsluftumleitung

Regler

P: Digitalanzeige der importierten   Programmtemperaturregelung; T:   7-Zoll-Farb-Touchscreen-Programmtemperaturregelung

Kontroll-Methode

Verwenden Sie eine   Mikrocomputer-PID-Steuerung / eine separate Temperatursteuerung mit zwei   Temperaturzonen vom Typ S

Wie einstellen

P: Berühren Sie die fünf Tasten für   Aktion, Digitalanzeigeeinstellung; T: Zum Einstellen den Finger berühren

Anzeigemethode

P: Zweizeilige LED-Digitalanzeige; T:   LCD-Farbdisplay

Zeitliche Koordinierung

0~999,9 Stunden

Funktion ausführen

Festwertbetrieb, Programmbetrieb

Programmmodus

P: Programm läuft, 4 Kurven, insgesamt   40 Schritte; T: 50 Schritte können das gespeicherte Programm aufrufen

Sensor

Thermoelement Typ S

Hilfsfunktion

P: Korrekturfunktion; T:   Korrekturfunktion, Kurvenaufzeichnung in Echtzeit, Datenexport auf U-Disk

Sicherheitsausrüstung

Überstromschutzschalter

Überstromschutzschalter

Anzahl der Luftwege

3 Kanäle (die Anzahl der Luftkanäle   kann je nach Bedarf ausgewählt werden)

Durchflussbereich

0–0500 sccm (Standard ml/min,   optional) Stickstoffstandard

Präzision

±1 % v.E

Reaktionszeit

≤4s

Betriebstemperatur (Durchflussmesser)

5-45

Arbeitsdruck

Eingangsdruck 0,05–0,3 MPa (Überdruck)

Systemverbindung

Verwenden Sie einen   KF-Schnellanschlussbalg, ein manuelles Hochvakuum-Klappenventil und ein   Vakuummessgerät mit digitaler Anzeige

Vakuumbereich des Systems

10-100 Pa

Vakuumpumpe

Der theoretische Endvakuumgrad der   zweistufigen mechanischen Pumpe beträgt 3 x 10-1 Pa, die Pumprate beträgt 4   l/s, der Luftauslass ist mit einem Ölfilter ausgestattet, die Nennspannung   beträgt 200 V und die Leistung 0,55 kW

CVD-Systemkonfiguration

1600-Grad-Vakuumröhrenofen (optional   einzelne Temperaturzone, doppelte Temperaturzone)   Mehrkanal-Massenstrom-Kontrollsystem Vakuumsystem

ANWENDUNG

  • Application of Röhrenofen mit Vakuumatmosphäre in Materialwissenschaft und Forschung
    Materialwissenschaft und Forschung
  • Application of Röhrenofen mit Vakuumatmosphäre in Industrie und Fertigung
    Industrie und Fertigung
  • Application of Röhrenofen mit Vakuumatmosphäre in Qualitätskontrolle und Prüfung
    Qualitätskontrolle und Prüfung
  • Application of Röhrenofen mit Vakuumatmosphäre in Laborzusammensetzungseinrichtungen
    Laborzusammensetzungseinrichtungen

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Authentizität garantiertWir versichern Ihnen, dass es sich beim Kauf unserer Produkte um 100 % zertifizierte Produkte handelt.
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